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探讨溅射与溅射靶材的区别及用途
我们都理解:溅射是制备膜材料的首要技艺之一,它运用离子源发作的离子,在真空中经过放慢聚集,而构成高速度能的离子束流,炮击体表面,离子和固体表面塬子发作动能交流,使固体表···Read more -
关于靶材的提纯方法你了解吗？
溅射工艺是一种物理气相沉积(PVD)技术，是制备电子薄膜材料的主要技术。亚光束，轰击面，离子和物体表面之间的动能交换，使表面的原子离开固体并沉积在基底表面。被轰击的固···Read more -
为什么说高纯度的溅射靶材是制造芯片的最主要材料？
芯片到底是从何而来呢?这个类似饼状的金属材料,叫高纯度溅射靶材,它是半导体芯片制造中的关键材料。目前全球只有三个国家四家公司掌握这种材料的制造工艺。这些金属靶材,最···Read more -
你知道如何提高磁控靶材的利用率利用率吗？
磁控溅射技艺由于其分明的优点成爲工业镀膜首要技艺之一，改善靶的规划进一步提高靶材应用率及镀膜平均性，下降镀膜本钱也是如今镀膜技艺亟须处置的关键成绩之一，多年来一···Read more -
靶材溅射完之后半边中毒发乌是怎么回事？
问题：反响磁控溅射技艺堆积氮化锆薄膜，靶材是两英寸的，溅射气体爲氩气，反响气体爲N2，功率300W，射频电源，堆积了两个小时，完后取出靶一看出现了标题中所述的景象，是···Read more