我们都了解,靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料。靶材种类比较多,有金属类、合金类、氧化物类等等,用的行业也有所不同,应用很广泛。那么常见的金属聖材有哪些?下面我们一起了解一下吧
常见金属靶材的种类如下:
常规金属靶材镁Mg、锰Mn、铁Fe、钴Co、镍Ni、铜Cu、锌Zn、铅Pd、锡Sn、铝A
小金属靶材铟n、锗Ge、镓Ga、锑Sb、铋Bi、镉Cd
难熔金属靶材钛Ti、锆z、铪Hf钒∨、铌№b、钽Ta、铬Cr、钼Mo、钨W、铼Re
贵金属靶材金AU、银Ag、钯Pd、铂Pt、铱Ir、钌Ru、铑Rh、锇Os
金属靶材碳C、硼B、碲Te、硒Se
稀土金属靶材钆Gd、钐Sm、镝Dy、铈Ce、钇Y、镧La、镱Yb、铒Er、铽Tb、钬Ho、铥Tm、钕№d、镥Pr、锥Lu、铕Eu、钪SC
陶瓷靶材氧化锌铝AZO、氧化铟锡∏O、氧化锌ZnηO、氮化铝AN、氮化钛TiN、氮化硼BN、钛酸钡BaτiO3、钛酸铋Bii◎3、碳化硅
SiC、钛酸锶 SrTio3、碳化钛TiC、碳化钨WC、铌酸锂 LiNbO3
合金靶材金锡合金AuSn、金锗镍合金 AuGeN、锌铝合金ZnA、铝铜合金ACu、钴铁硼合金 CoFeB、铁锰台金FeMn、铱锰合金IrMn
锆钛合金Z「、镍铬合金NiCr、铜铟镓合金 CuIn ga、铜锌锡硫合金CzIS