在未来ITO靶材的发展趋势大致有以下的趋向：

1.下降电阻率。跟着LCD愈来愈精密化展开的趋向，以及它的驱动顺序不同，需求更小电阻率的通明导电膜。

2.高密度化。靶材密度的改善间接带来的益处首要表如今增添黑化和下降电阻率方面。靶材若爲低密度时，有用溅射表面积会增添，溅射速度也会下降，靶材表面黑化趋向减轻。高密度靶的表面改动少，可以失掉低电阻膜。靶材密度与寿数也有关，高密度的靶材寿数较长，意味着可下降靶材本钱。

3.尺度大型化。跟着液晶模块产品轻浮化和低价化趋向的不时展开，相应的ITO玻璃基板也出现了显着的大型化的趋向，因此ITO靶材单片尺度大型化不可防止。

4.靶材本体一体化。如前所述，靶材将朝大面积展开，以往技艺才干缺乏时，必需运用多片靶材拼焊成大面积，但由于接合处会构成镀膜质量下降，因此如今大多以一体成形爲主，以提高镀膜质量与运用率。将来新代代LCD玻璃基板尺度的加大，对靶材消费厂家是一项严苛的应战。

5.运用高效率化。靶材运用率的提高，不断是设备商、运用者及靶材制造商共同努力的方向。如今靶材应用率可达40%，跟着液晶显示器职业对资料本钱要求的提高，提高ITO靶材的应用率也将是将来靶材研制的方向之一。