1、PVD 镀膜材料概述

PVD 镀膜材料主要用以制备各种具有特定功能的薄膜材料，应用领域包括平板显示、半导体、太阳能电池、光磁记录媒体、 光学元器件、 节能玻璃、 LED、工具改性、高档装饰用品等。

(1)薄膜材料制备技术概述

薄膜材料生长在基体材料(如玻璃、光学玻璃等)上，通常由金属、非金属、合金或复合材料的涂层形成。它具有高渗透性、吸收性、截止性、光分离性、反射性、过滤性、干扰性、防护性、防水防污性、抗静电性、导电性、导磁性、绝缘性、耐磨性。具有耐高温、耐腐蚀、耐氧化、防辐射、装饰重组等功能，可提高产品质量、环保、节能、延长产品使用寿命。

提高原有性能等。目前，薄膜的制备技术主要包括物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。

薄膜材料生长于基板材料(如屏显玻璃、光学玻璃等)之上，一般由金属、非金属、合金或化合物等材料经过镀膜后形成，具有增透、吸收、截止、分光、反射、滤光、干涉、保护、防水防污、防静电、导电、导磁、绝缘、耐磨损、耐高温、耐腐蚀、抗氧化、防辐射、装饰和复合等功能，并能够提高产品质量、环保、节能、延长产品寿命

改善原有性能等。目前，薄膜材料制备技术主要包括物理气相沉积(PVD)技术和化学气相沉积(CVD)技术。

①CVD技术

CVD 技术是在高温下依靠化学反应、把含有构成薄膜元素的气态反应剂或液态反应剂的蒸气及反应所需其它气体引入反应室，在衬底表面发生化学反应生成薄膜材料的技术。

②PVD技术

PVD 技术是制备薄膜材料的主要技术之一，指在真空条件下采用物理方法，将某种物质表面气化成气态原子、分子或部分电离成离子，并通过低压气体(或等离子体)过程，在基板材料表面沉积具有某种特殊功能的薄膜材料的技术。在PVD 技术下，用于制备薄膜材料的物质，统称为 PVD 镀膜材料。经过多年发展，PVD 技术已成为目前主流镀膜方法，主要包括溅射镀膜和真空蒸发镀膜。

A、光学镀膜材料真空蒸发镀膜

真空蒸发镀膜是指在真空条件下，利用膜材加热装置(称为蒸发源)的热能，通过加热蒸发某种物质使其沉积在基板材料表面的一种沉积技术。被蒸发的物质是用真空蒸发镀膜法沉积薄膜材料的原材料，称之为蒸镀材料。

真空蒸发镀膜系统一般由三个部分组成：真空室、蒸发源或蒸发加热装置、放置基板及给基板加热装置。在真空中为了蒸发待沉积的材料，需要容器来支撑或盛装蒸发物，同时需要提供蒸发热使蒸发物达到足够高的温度以产生所需的蒸汽压。真空蒸发镀膜的基本原理如下：

真空蒸发镀膜技术具有简单便利、操作方便、成膜速度快等特点，是应用广泛的镀膜技术，主要应用于小尺寸基板材料的镀膜。

B、光学镀膜材料溅射镀膜

溅射镀膜是指利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基板材料表面的技术。被轰击的固体是用溅射法沉积薄膜材料的原材料，称为溅射靶材。

一般来说，溅射靶材主要由靶坯、背板(或背管)等部分构成，其中，靶坯是高速离子束流轰击的目标材料，属于溅射靶材的核心部分，在溅射镀膜过程中，靶坯被离子撞击后，其表面原子被溅射飞散出来并沉积于基板上制成薄膜材料;由于溅射靶材需要安装在专用的设备内完成溅射过程，设备内部为高电压、高真空的工作环境，多数靶坯的材质较软或者高脆性，不适合直接安装在设备内使用，因此，需与背板(或背管)绑定， 背板(或背管)主要起到固定溅射靶材的作用，且具备良好的导电、导热性能。

光学镀膜材料溅射镀膜的基本原理如下：

溅射镀膜工艺可重复性好、膜厚可控制，可在大面积基板材料上获得厚度均匀的薄膜，所制备的薄膜具有纯度高、致密性好、与基板材料的结合力强等优点，已成为制备薄膜材料的主要技术之一，各种类型的溅射薄膜材料已得到广泛的应用，因此，对溅射靶材这一具有高附加值的功能材料需求逐年增加，溅射靶材亦已成为目前市场应用量最大的 PVD 镀膜材料。